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      PM100等離子清洗機 雅馬拓

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      • 产品说明
      型號PM100
      等離子發生源低頻高電壓電源,輸出約100W,周波數60KHz、輸出電壓10kV
      電機構造電容型 2分割
      氣體流量計氧氣用、流量30~300mL/min
      真空調整閥門抽真空用,回大氣用
      反應腔尺寸內徑100mm×深度最大約200mm
      外形尺寸(寬×深×高mm)310×300×448
      電源 50/60HzAC100V 10A(含真空泵Max7A)
      真空泵接口外徑Φ6.35mm(推薦真空泵排氣速度30L/min)
      氣體接口外徑Φ6.35mm

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